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更新時間：2023-10-19 
瀏覽次數(shù)：486可以執(zhí)行各種操作模式，例如關(guān)閉或打開閥盤（閥盤）、將其定位到任何位置以及改變打開/關(guān)閉速度。
一臺設(shè)備即可實現(xiàn)全封閉和電導(dǎo)調(diào)節(jié)。
可以從壓差狀態(tài)（真空-大氣壓）開啟。
采用直接電機驅(qū)動機構(gòu)和高精度齒輪箱，提供出色的位置精度重復(fù)性。
根據(jù)控制方式，可實現(xiàn)開度調(diào)節(jié)、速度調(diào)節(jié)等多種動作模式。(注1)
適用于大流量排氣，具有優(yōu)良的耐久性。非常適合 FPD/OLED 相關(guān)設(shè)備（涂布機系統(tǒng)、粘合設(shè)備等）。
可以使用角度顯示指示器從外部確認(rèn)閥體的位置。
通過添加可選的雙自動壓力控制系統(tǒng)控制器進行控制，也可用作自動壓力控制閥。
| 類型 | MBV-ADII-M4（三菱電機/MR-J4系列） M B V - A D II - M4 Br (電機規(guī)格：帶制動器) |
|---|---|
| 口徑 | 50A、65A、80A、100A、150A、200A、250A |
| 泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
| 使用面積 | 10 5 ~10 -6帕 |
| 圓盤密封*1 | 三元乙丙橡膠O型圈 |
| 軸封*2 | 三元乙丙橡膠O型圈 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
| 指標(biāo) | 帶角度外部顯示指示器 |
| 附帶伺服放大器 | MR-J4-A-RJ（支持定位模式） |
| 選項 | 開/關(guān)檢測光電傳感器 |
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